收缩管/扩张管型无阀压电微泵的动态特性研究

为了合理地预测收缩管/扩张管型无阀压电微泵泵腔压力脉动，利用流体动力学基本理论以及锥管的特点，给出了无阀微泵的动态数学模型，包括吸入和泵出模式的连续性方程以及泵腔体积变化。采用有限元分析方法，对振动薄膜的最大体积变形量进行了计算。基于微泵动态数学模型，对无阀微泵压力和流量特性进行了仿真研究，分析不同薄膜最大体积变形量和振动频率对微泵动态特性的影响。同时，采用安装在泵腔上的压阻式微型压力传感器完成微泵泵腔压力脉动测试。通过对仿真结果和试验结果的分析比较，表明微泵动态数学模型用于计算无阀微泵动态压力特性是可行的。