值微冲击开关的研制

？采用微机电系统（MEMS）技术设计制作了一种微冲击开关，其敏感元件由悬臂梁支撑的质量块和其下的微触点构成。在冲击加速度作用下，质量块与触点碰撞实现接通。开关芯片体积为5mm×5mm×0.5mm，动作门限3000g，响应时间84μs，能承受极端的高冲击而不破坏。