等离子体方法实现金属管件内表面改性研究进展
张谷令,
吴杏芳,
顾伟超,
陈光良,
冯文然,
牛二武,
李立,
吕国华,
陈睆,
范松华,
刘赤子,
杨思泽
Keywords: 等离子体源,离子注入,金属管件,内表面,表面改性
Abstract:
综述了近年来国内外利用等离子体方法实现金属管件内表面强化的研究进展. 介绍了几种管件内表面等离子体源离子注入和沉积技术，并对其优缺点分别加以分析. 详细介绍了中国科学院物理研究所等离子体物理实验室先后提出的几种等离子体源离子注入方法用于金属管件内表面改性的原理、技术特点及最新研究进展. 力图展望管件内壁离子注入技术研究的发展前景.
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