高频等离子炬的设计原则与参数选择

高频等离子体技术虽得到了一定的发展,也已应用于制造钛白、光导纤维,但对高频等离子炬的设计及参数的选择所应遵循的依据还存在很多问题。我们试图从分析等离子体的物理过程出发找出影响其工作的关键参数,给出设计步骤并加以分析讨论。1.高频等离子体的维持机理我们采用拟通道模型,将放电管分为两个区域:内部放电区(0≤r≤r_p,弧半径r_p是未知的),假设此区内导电率σ=δ为一常