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ISSN: 2333-9721
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Friction Behavior of Nanoscale GeSb2Te4 Thin Film in Atmosphere
纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的摩擦性能研究

Keywords: GeSb_2Te_4 film,lateral force microscope,friction behavior,adhesion force
GeSb2Te4薄膜
,摩擦力显微镜,摩擦性能,粘附力

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Abstract:

采用摩擦力显微镜考察了磁控溅射纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的微观摩擦性能,利用JKRS理论分析了针尖同GeSb2Te4薄膜接触时的粘附力和表面能之间的关系.结果表明:当湿度较大时,粘附力较大;而当湿度较小时,粘附力较小;当针尖表面能一定时,粘附力的微小变化可以导致GeSb2Te4薄膜的表面能产生较明显变化;随着扫描范围逐渐减小,摩擦力变化趋于稳定;不同扫描速度下法向力和摩擦力保持较好线性关系,但不同扫描速度下的平均摩擦力随扫描速率变化而呈现非线性变化;为了更好地分析探针和样品表面的微观摩擦机制,宜选择扫描范围为0.1~0.5μm或更小.

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