相互作用势对溅射模拟计算结果的影响

一、引言 研究固体靶中原子碰撞如背散射、溅射、辐射损伤和离子注入等问题,描述粒子间相互作用的作用势起十分重要的作用。这是因为经典两体碰撞散射角θ(ε,b)与作用势B(x)有如下关系: