空心阴极离子镀及其在工具工业中的应用

作者在介绍真空镀膜的形态,膜与基片间的附着性能及其改进措施,膜晶粒大小与其硬度和机械性能间的关系,几种离子镀金属、合金和碳化物硬质镀层的性能以及镀敷工艺等内容的基础上,较为详细地论述了空心阴极离子镀(HCD)的基本概念和工艺特性。然后给出了HCD沉积、HCD反应沉积的铬、CrC、CrN、TiC、TiN等膜的镀敷条件和膜的表面形态、耐磨、耐蚀、硬度、组成等性能的试验结果以及膜的表征方法。最后对日本的工业离子镀设备和离子镀工艺在工具工业中的应用效果作了简要介绍。