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ISSN: 2333-9721
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科学通报  1998 

用脉冲准分子激光在P-Si(100)衬底上沉积高取向KTN薄膜

Keywords: 薄膜,焦绿石相,钙钛矿相,脉冲激光沉积,KTN

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Abstract:

利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制备的薄膜进行了XRD ,SEM分析

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