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ISSN: 2333-9721
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科学通报  2002 

β-SiC(110)表面原子与电子结构的理论计算

Keywords: 碳化硅,FPLAPW方法,表面原子结构,表面电子结构,半导体,理论计算

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用全势缀加平面波方法(FPLAPW)计算了β-SiC及其非极性(110)表面的原子与电子结构。计算出的β-SiC晶体结构参数。晶格常数和体积弹性模量与实验值符合得很好,用平板超原胞模型来计算β-SiC(110)表达的原子与电子结构。结果表明,表面顶层原子发生键长收缩和旋转豫特性,表面阳离子Si向体内移动而阴离子C向表面外移动,这与Ⅲ-Ⅴ族半导体(110)表面弛豫特性相似,表面重构的机制是Si原子趋向于以平面构型的sp^2杂化方式与其三配位C原子成键,C原子趋向于以锥型的p^3试民其三配位Si原子成键,另外表面弛豫实现表面由金属性至半导体性的转变。

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