一种简单的金刚石薄膜场致发射器件

随着半导体工艺在真空微电子学中的广泛应用,场致发射平板显示技术得到迅速发展。利用场致发射冷阴极制备的平板显示器件及象素发光管,具有功耗低、体积小和亮度高的特点,在乎板显示和大屏幕显示方面,具有很强的竞争力。金刚石薄膜和类金刚石薄膜具有较低的起始发射电场和较高的电流密度,其作为新型冷阴极在平板显示中的应用引起国内外的极大关注,被认为是较好的场致发射材料。