高能量密度脉冲等离子体制备的氮化钛刀具涂层的微观结构与力学性能

室温下用高能量密度脉冲等离子体在硬质合金刀具上成功淀积了硬度高、耐磨损、膜基结合良好的氮化钛涂层．俄歇分析表明，薄膜与基体间界面大于250nm；涂层与基体的结合良好，纳米划痕实验临界载荷达90mN以上．纳米压痕实验表明，氮化钛涂层具有很高的硬度和杨氏模量，分别达27GPa和450GPa以上．涂层刀具切削实验表明，刀具可用于HRC高达58-62的CrWMn钢切削，且磨损量较低，寿命长．微观结构分析表明，高能量密度等离子的注入效应、晶粒细化效应等对薄膜硬度、杨氏模量、膜基结合力和抗磨损性能等物理性能的改善起主导作用．