半球结构亚波长光栅抗反射性质的研究

利用多台阶圆柱结构近似与严格的耦合波理论研究了化学方法制作出来的新型的半球结构的亚波长光栅的光学性质,此光栅制作技术简化了可见光波段光栅的制作工艺.通过计算机模拟与数值计算,证明了半球结构亚波长光栅具有良好的抗反射性能.给出了两种光栅设计方案.第1种方案下,光栅能够达到3.4416×10?7的低反射率,适用波段为0.46~0.7μm,入射角变化范围为±12°;第2种方案下,光栅的适用范围较广,适用波段为整个可见光波段,入射角变化范围为±23°,所能达到的最低反射率为3.112×10?4.