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Keywords: 微重力,气相生长,单晶,薄膜
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气相生长是制备薄膜或晶体的一种重要手段,然后重力导致的浮力对流往往使得薄膜厚度和晶体成分分布不均匀,从而缺陷密度增加影响其质量。利用空间的微重力条件可以抑制气相生长过程中重力引起的浮力对流,提高样品质量并改善其性能。概述了近20多年来国内外空间气相生长研究工作的进展状况。着重介绍了国外空间气相生长研究的历史过程、研究的主要内容及所采取的研究手段,总结了关于空间气相生长的主要飞行结果,并对国外如何进
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