评价光学显微镜象质的新方法

一、引言 象质评价是个比较古老的课题,自19世纪以来,人们提出了许多象质评价方法,如点分辨、瑞利四分之一波差判据、Airy斑中心点亮度、波面均方差以及光学传递函数等。这些方法都是在分析非相干成象过程中产生的,然而本文讨论的对象——光学显微镜——是部分相干成象系统;能否将上述象质评价参数用于相干或部分相干成象系统,这是个值得讨论的问题.以光学传递函数为例,它要求成象系统对光强是线性的,而部分相干成象则不满足此条件。另外,波面均方差是否最佳地反映了波面质量的优劣,是否在积分式中应加一个权重函