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Keywords: CeO2/Si薄膜,室温蓝光发光,低温紫光致发光,薄膜结构,发光机制,能级跃迁,双离子束外延技术
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利用双离子束外延技术制备了CeO2/Si薄膜,观察到了CeO2室温蓝光发光以及低温紫光致发光(PL)现象.利用XRD和XPS对薄膜结构及价态进行分析后表明,Ce02的发光机制是由于电子的Ce4f→O2p跃迁和缺陷能级→O2p能级跃迁共同作用的结果,并且这些缺陷能级位于Ce4f能级上下1eV的范围内.
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