氟等气体的气相色谱定量分析

我们采用了自制F-6型腐蚀性气体气相色谱自动分析仪,可定量分析含氟、氮、氧、四氟化硅、氢等组分的气体混合物。所用分析流程见图1。七米柱和二米柱内装有以全氟油为固定液,以聚三氟氯乙烯为担体的色