CoMnNiO非晶薄膜的退火性质

一、引言 CoMnNjO非晶薄膜是一种宽温区热敏材料。它不仅可用于一般测控温元件的制作,而且对于快速响应的测温元件具有独特的优点。目前,对于这种材料的结构及各种性质有待研究,国内外尚无有报道。非晶材料是一种亚稳态结构。若要使其具有稳定的结构和电学性质,便于实际应用,须对其退火性质进行分析和研究。本文报道用X射线衍射(XRD)和扩