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ISSN: 2333-9721
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科学通报  1992 

极高真空液氦冷凝泵

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Abstract:

极高真空液氦冷凝泵由于具有抽速大,无油极清洁,抽气无选择性和极限真空度高等优点,主要用于宇宙空间环模装置,热核可控装置,大型加速器、正负粒子对撞机,极清洁分子束外延,大型风洞实验,极高真空表面性能研究,极清洁精细加工和超高真空校准等领域。

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