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甲基氯硅烷是在工业上有广泛应用的有机硅聚合体(硅树脂、硅橡膠、硅油等)的主要单体,可采用Grignard法或者直接法合成。工业上一股采用的是直接法,即在300℃左右以銅或銅化合物为触媒,將氯甲烷通入于元素硅进行反应。此方法早在1945年即被Rochow所发明。Hurd和Rochow提出了下列的反应机構: 即在硅和銅之間的分界綫上氯甲烷与銅发生反应,并形成不稳定的挥发性金屬有机分合物CH_3C_u
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