INFLUENCE OF INDENTATION DEPTH AND FILM THICKNESS ON COMPOSITE HARDNESS AND MODULUS OF COATING-SUBSTRATE SYSTEMS
压入深度与膜厚对薄膜与基体复合硬度及弹性模量的影响

Keywords: coating,hardness,elastic modulus
纳米薄膜,弹性模量,载荷-位移曲线,复合硬度,压入深度,膜厚,纳米压入法

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Abstract:

根据高华建的复合弹性模量模型，提出了用一个测点的载荷-位移曲线计算整个压入深度内薄膜和基体复合硬度分布的方法，探讨了压入深度与膜厚对硬度与弹性模量测量值的影响，指出可由膜-基复合性能反推膜本身的性能。

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