MEASUREMENT OF ATOMIC OXYGEN DENSITY BY A Ni CATALYTIC PROBE
利用Ni催化型探测器测量原子氧密度

利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度．原子氧源是利用微波ECR耦合O2气放电生成氧等离子体产生的．纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30min，使其表面充分活化形成一层NiO．探测器活化后测量其在不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化．发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关．当气压从10^-3Pa-10^-2Pa之间变化时原子氧密度在10^16-10^17/m^3之间变化．采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致．