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Keywords: 位错密度,外延材料,红外焦平面,晶向,衬底,晶体材料,腐蚀剂,表征,参数
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位错密度是晶体材料的重要参数之一,碲锌镉晶体位错研究也一直是红外焦平面研究领域热点之一。由于外延材料对衬底晶向的要求,Everson腐蚀剂在表征位错密度参数方面得到了非常重要的应用,利用Everson腐蚀剂做的位错研究也取得了很多新成果。
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