热红外成像器件及其制作方法

目前市场上出售的热红外图像传感器大多为测辐射热计型和热释电型。这些热红外图像传感器都是用其热敏部件吸收来自目标的红外辐射,然后根据电阻变化和电容变化来探测热敏部件的温度上升的。因此,用于支撑热敏部件的支柱都有一个特点,即截面小、长度长。然而,当支撑腿比较长时,被吸收的红外辐射会转换成热量,这样便会减小用于将热量转换成电信号的热敏部件的面积。因此,对于支撑腿的长度和热敏元件的面积,人们需要作权衡考虑。