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ISSN: 2333-9721
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红外  2007 

用Ⅲ-Ⅴ族氮化物制成的红外探测器

Keywords: Ⅲ-Ⅴ族,氮化物,红外探测器,量子阱红外光电探测器,多量子阱,导电层,缓冲层,阻挡层

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Abstract:

本发明提供一种量子阱红外光电探测器,它包括一层衬底、一层缓冲层、第一层导电层、一个多量子阱、一层任选阻挡层和第二层导电层。其中,衬底是用一种单晶体制作的,在器件制备完毕后可以去除掉。其余的膜层则是由Ⅲ-Ⅴ族氮化物构成的。这种量子阱红外光电探测器的优点是,能够敏感正入射和斜入射的近红外至甚远红外波长的光。

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