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Keywords: 光子计数器,可见光,近红外,吸收原理,量子效率,光电倍增管,非本征,波长范围
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在以前的可见光光子计数器中,本征杂质带探测器是根据硅的本征吸收原理制作的,它在0.4μm-1.0μm波长范围内具有较高的量子效率。而以前用硅掺砷材料制作的固态光电倍增管则是通过非本征吸收来实现2μm-28μm红外光谱范围的高量子效率的。虽然这两种器件都是高速光子计数器件,但是它们在1μm-2μm谱区的光吸收都很弱。
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