非致冷热成像用的铁电体（上）

在英国，非致冷的热成像（ＴＩ）使用铁电体热辐射计的大型列阵，热辐射计（即热辐射探测器）的元件的间距为４０μｍ～１００μｍ。利用铁电陶瓷材料的热电性质来制作热辐射计灵敏元，混成列阵（亦称混合列阵）工艺用焊料信把灵敏元件与读出电路连接起来，这种技术已经成功地生产了大量的二维列阵器件。然而，一种创新技术正在研究之中，它把铁电材料直接沉积在硅读出集成电路上，形成具有适当微结构形状之中，它把铁电材料直接沉积