高空间分辨率红外椭圆计

本发明提供一种高空间分辨率红外椭圆计，该椭圆计由红外光源(S)、样品支架(PE)、传感器(D)、两个光学系统以及遮光器(F1，F2)等组成．第一个光学系统装在光源(S)和样品支架(PE)之间，它可以使光照射在位于样品支架上的样品上，第二个光学系统位于样品支架和传感器(D)之间，它是用来会聚由样品反射的光的，第二个光学系统的光路中也装有一个遮光器(F2)，