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ISSN: 2333-9721
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红外 2003

采用非致冷微悬臂探测器的红外成像技术

Keywords: 微悬臂探测器,红外成像技术,反应离子蚀刻法,象限元读出,CCD,分辨率,光路设计

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Abstract:

1 引言热红外探测和成像技术在商业、工业、医学及军事领域具有广泛的用途。然而,现有红外成像技术的限制因素依然是红外摄像机成本

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