基于石英微共振器的非致冷红外成像阵列

石英晶体共振器的共振频率对温度是敏感的。过去，用单个微型石英共振器制作的温度计，由于利用这种灵敏度，已能准确探测μＫ级的温度变化。现在，利用半导体微制备技术，已经有可能用单片石英晶片制备出大量微共振器。业已证明，将这种微共振器的小热质量和高隔热能力、用一定数量的石英切片制作的共振器的陡频和温度特性以及石英晶体振荡器的低噪声特性相结合，可以生产出高性能的红外敏感器和敏感器列阵。在微共振器敏感器中，因