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红外与毫米波学报 1999
ANTI-REFLECTIVE COATINGS USED IN NEAR-INFRARED AND MID-INFARED DETECTORS
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Abstract:
为提高以GaAs 为基底的中红外探测器的综合性能,从理论上验证了在GaAs 基底上镀TiO2 sol-gel纳米颗粒膜能够较大幅度地提高GaAs 红外透过率,并在实验中获得了适合于镀膜的稳定TiO2 纳米颗粒溶胶,有效控制镀膜工艺参数,在GaAs 基底上成功地镀上了合适的TiO2sol-gel膜,实现了增透效果,在2.5~6.0μm 波段内,透射比的最大值由未镀膜的56% 提高到镀膜后的94% .