单晶硅和无定形硅的光学常数、椭偏光谱和Kramers-Kronig关系的验证

本工作用本实验室试制的TTP-1型椭圆偏振光谱仪,测量了紫外至可见范围(2700～6000(?))内单晶硅和离子注入无定形硅的光学常数——折射率n和消光系数κ。对所测得的n、κ,及复介电常数的实部(?)和虚部(?),进行Kramers-Kronig关系的计算。计算结果表明,不论是单晶硅或是无定形硅,所得数据均相当好地符合Kramers-Kronig关系。对于单晶硅,我们测得的结果与别人用反射法测得的结果及用椭偏法测得的结果基本