DISTRIBUTION OF EFFECTIVE TEMPERATURE IN MICRO-PHOTOLUMINESCENCE MAPPING ON CdZnTe WAFER
CdZnTe晶片显微光致发光谱中的等效温度分布研究

提出并实现了用微米级空间分辨率的显微光致发光（μ-PL)平面扫描谱对CdZnTe(CZT)晶片的表面亚微米层特性研究。在含缺陷区域进行微米尺度和在大面积范围内进行毫米尺度的逐点PL测量。对测得每一点的PL谱进行了拟合。拟合参数中等效温度Tc的统计分布给出两个分布中心，表明存在有两种机制的发光过程。同时统计结果给出发光各点的不均匀性。等效温度的平面分布图直观地给出了各温度的平面位置，样品经溴 抛光后重复类似的测量，结果表明等效湿度的统计均匀性大为改善。抛光后的不同的缺陷点表现出不同的发光特性，意味着各自起源的不同。大面积PL扫描的统计结果和平面分布给出样品特性的整体评价。