环孔工艺的碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件

碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件是高性能热像仪的核心组件．本文中作者完成了碲镉汞长波红外576×6焦平面探测器组件的设计，利用环孔技术制备出576×6焦平面探测器芯片，经过杜瓦封装、配斯特林制冷机后成为实用的探测器组件．性能参数测试表明：典型的探测率达到1．79×10^11cmHz^1/2／w，非均匀性达到14．6％，盲元率达到6．0％，并完成探测器组件的实验室演示成像．