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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
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REAL TIME MONITORING OF GROWTH PARAMETERS OF MBE GROWN HgCdTe
分子束外延HgCdTe材料生长参数的实时监测研究

Keywords: MBE,HgCdTe,real,time monitoring,ellipsometry,infrared pyrometry
分子束外延
,实时监测,红外辐射测温,汞镉碲

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Abstract:

报道了用椭圆偏振技术和红外辐射测温技术对HgCdTe生长关键参数实时监测的结果,建立了HgCdTe材料在生长温度下的标准光学常数数据库,在研究中对生长过程中材料的发射率以及红外辐射强度进行了理论分析,为生长温度的实时精确控制提供了理论依据,并在实验上获得了小于±1℃的生长温度控制精度.

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