STUDY ON REFRACTIVE INDEX OF GaN BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY
GaN折射率的椭圆偏振光谱研究

利用400～1200nm波段的椭圆偏振光谱对生长在蓝宝石衬底上的非故意掺杂纤锌矿氮化镓(GaN)外延薄膜进行了研究．通过拟合实验数据获得了GaN薄膜的厚度和在可见-近红外区域的折射率色散关系，即n^2(A)=2．26^2 330．1^2／((λ／nm)^2-265．7^2)．利用这一公式研究了GaN紫外-可见波段的反射光谱，计算得到的GaN薄膜厚度，与椭偏光谱结果一致，两者偏差仅为0．68％．