INVESTIGATION ON COMPOSITION PROFILE OF Hg 1- x Cd x Te EPILAYER BY ROOM TEMPERATURE INFRARED TRANSMISSION
用室温红外透射谱研究Hg_（1－x）Cd_xTe外延薄膜的组份分布

Keywords: Hg,1-,x,Cd,x,Te,infrared transmission,epliayers
Hg1－xCdxTe，红外透射谱，外延薄膜

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Abstract:

根据Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ本征吸收系数的经验公式及Ｈｏｕｇｅｎ模型，建立了一种用室温红外透射谱研究Ｈｇ１－ｘＣｄｘＴｅ外延薄膜组份均匀性的方法，用这种方法检测了ＬＰＥ、ＭＢＥ、ＭＯＣＶＤ薄膜的组份分布，并与二次离子质谱（ＳＩＭＳ）测量结果进行了比较

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