厚底板上薄膜热释电探测器性能的分析

本文比较了一维热扩散理论的简化表达式的计算结果与数值计算结果,进一步讨论了厚底板上薄膜热释电探测器的最佳化问题,指出厚底板上1μm厚的最佳化热释电器件的性能与10μm厚的悬空器件相近。