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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
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STUDY ON THE PYROLYTIC PROPERTIES OF POLYSILAZANE
聚硅氮烷的热分解特性研究

Keywords: Polysilazane,Pyrolytic properties,Silicon nitride,Silicon carbide
聚硅氮烷
,热分解特性,氮化硅,有机硅聚合物

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Abstract:

研究了由有机氯硅烷氨解制得的聚硅氮烷(psZ)在N2与NH3气氛中的热分解特性,结果表明,在N2气氛中,PSZ经三个阶段转化为无定形陶瓷,在更高温度下则得到a-Si3N4结晶与β-SiC微晶的复合,β-SiC的形成来源于Si-CH3基团的热分解,降低PSZ中Si-CH3含量能提高产物中Si3N4的含量,在NH3气氛中热分解时产生脱碳反应,导致形成无定形态的无机物,它在1500℃转化为几乎为纯的a-

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