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光子学报 2008
Electrostatic Bonding of GaAs Photocathode Materials to Glass
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Abstract:
提出了用于GaAs光阴极粘结的静电键合方法.相比于传统的热粘结方法,该方法温度低(350℃),时间短(5 min),在空气中进行.所制得的GaAs光阴极在激活台内的峰值灵敏度为68.8 mA/W(峰值波长为830 nm).以此制作的三代微光管的积分灵敏度为1 311 μA/lm,优于传统的热粘结工艺制作的微光管的灵敏度(~1 200 μA/lm).