Analysis on Method Establishing High Accuracy Datum Plane
高精度基准平面建立方法分析

基准平面的确立，是进行表面参数评定的基础；建立理想的基准平面，在几何量形位公差检测及相关工程测量方面具有重要作用．为了建立高精度的激光扫描基准平面，对扫描平面形成过程中光束的传播进行了详细分析；根据光学矢量反射定律，推导出了扫描误差的理论公式；在此基础上揭示了误差补偿的基本原理，导出了用于补偿扫描机构产生的扫描误差的理论公式；提出了据此准则进行设计的扫描机构的模型．分析表明，用激光及其扫描装置建立光学基准面时，扫描误差是不可避免的，这种误差不加补偿，则最终将引入基准光学平面影响基准精度，进而降低参数的评定精度；借助于所推导的误差补偿公式，是可以补偿这种误差的，这对于建立高精度的扫描基准平面具有理论指导意义．