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Keywords: 磁控溅射,不锈钢薄膜,点蚀
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用磁控溅射法获得微晶和非晶不锈钢薄膜,考察了它们的耐点蚀性能,并用X-射线和电子衍射分析了薄臆的结构。结果表明,薄膜的抗点蚀能力远优于普通321不锈钢;当晶粒尺寸小于7.7nm时,微晶态不锈钢薄膜的点蚀电位高于非晶态薄膜。
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