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光子学报 1995
BOW-TIE ANTENNA OF HIGH TC SUPEKCONDUCTING THIN FLIM INFKARED DETECTOR
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Abstract:
为了提高超导薄膜红外探测器的工作带宽、响应速度和灵敏度,并便于进行集成平面工艺,我们设计了微桥型红外敏感元及与其耦合的领结型平面天线(bow-tie antenna),其检测波长范围可从中红外到毫米波段,理论估算其NEP(噪音等效功率)值可达1.2×10 ̄(-12)WH_z ̄(1/2),响应时间τ<10 ̄(-6)s。