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Keywords: Ru-base thick film resistor,Particle size effect,Conductive mechanism of thick film resistor,Temperature coefficient of resistance钌基厚膜电阻,颗粒尺寸效应,厚膜电阻导电机理,电阻温度系数
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本文报道了钽掺杂钌基厚膜电阻制备过程中导电相和玻璃相颗粒尺寸效应的实验研究结果。当导电相和玻璃相颗粒尺寸分别达到25和50nm时,电阻阻值和电阻温度系数也随之发生显著变化,并尝试根据厚膜电阻导电机理对其产生的原因进行定性的分析。
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