A SCANNING LOW ENERGY ELECTRON PROBE FOR MEASURING THE SECONDARY EMISSION OF THERMIONIC CATHODES
测量热阴极次级发射特性的扫描电子探针法

本文介绍了一种适用于量测热阴极次级发射特性的扫描电子探针法,原电子探束束斑直径为50—100μm,束流小于10~(-7)A,原电子能量不大于3kV。该装置能定点测量热阴极表面上感兴趣点的次级发射系数δ与原电子能量间的关系曲线(δ-E_p);也能以扫描方式在短时间内测出整个热阴极表面的次级发射分布,从而求得次级发射的定量分布曲线(f-δ)。该装置在电视制式的扫描方式工作时,能观察热阴极表面的次级发射图象。 对纯镍样品的测量表明:该装置具有比单枪定点法更多的优点和更高的精度。由于该装置简便灵活,便于与热阴极研究的特殊需要相结合,因此,可望在热阴极的研究中发挥作用。