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光子学报 1985
彩色条纹滤色器制造技术Abstract: 彩色条纹滤色器是一种新型的光学元件。在彩色光学信息处理方面有重要的应用。比如在彩色全息技术,彩色图像的储存和复现都要应用它。在特种彩色电视技术中它有更重要的,更广泛的应用。因它可以制作各种类型的彩色条纹摄象管以及彩色固体摄象器件。 目前国外已公布的彩色条纹滤色器制造方法有好几种。如果按照彩色膜不同的形式来分类主要有:有机膜染色法;物质吸收特性法;多层干涉膜法等三种。如果按照光刻腐蚀的不同方法来分类主要有:直接腐蚀法,等离子体腐蚀法;代换腐蚀法;各种方法
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