环形抛光技术

前言 由于激光技术的广泛应用,在现代光谱学和干涉计量学中,越来越需要高精度的光学平面。如:法布里—珀罗标准具、激光平面干涉仪中的标准平面等。为了制取高精度平面,在加工与检测等方面正在探索一些新的方法和手段。国外早已发展了一项新的抛光技术——环形抛光技术。近年来,国内也有某些单位开始了试验工作。我们西安光机所