具有可溶芯玻璃的微通道板的腐蚀

本文简要地叙述了微通道板(MCP)在一些重要的科学领域和技术领域中的应用。着重介绍了制造开口面积比为65％的通常的MC P的一种化学腐蚀和物理处理相结合的腐蚀工艺。用这种工艺制造的MCP的开口面积比为65％,其塞孔率为0.01％以下,制造MCP的重复率达99％。最后,讨论了腐蚀MCP芯玻璃的反应机理。