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光子学报 1995
A DATA-PKOCESSING PROBLEM IN THE MEASURING TECHNIQUE OF OPTICAL ASPHERICAL SURFACE
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Abstract:
本文介绍一种激光束平移转动法检测光学非球面,较好地克服了以往各种检测方法的局了奶性。文中着重介绍该方法的数学模型,精度分析,非球面参数拟合及面形质量评价等数据处理问题。以计算实例说明激光束平移转动检测非球面具有通用性强,精度高,测量周期短等。