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半导体学报 2010
Design and implementation of a low-pass filter for microsensor signal processing
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Abstract:
研究旨在设计一款应用于微型飞行器机翼表面分离点检测的高精度微型传感器信号处理系统中的模拟低通滤波器。该滤波器由开关电容滤波器及其前置抗混叠滤波器和后置平滑滤波器组成。在整个信号处理系统中,滤波器不仅起到滤除信号干扰和噪声的作用,而且还用作过采样模数转换器的前置抗混叠滤波器。设计基于无锡上华0.5um 2层多晶硅3层金属(2P3M)CMOS 工艺,在3.3V电源电压下,采用相关双采样技术(CDS)及优化的开关组合,削弱了器件非理想特性的影响,提高了开关电容滤波器的精度,并运用具有低元件灵敏度及失真特性的多重反馈型二阶低通滤波器作为抗混叠滤波器和平滑滤波器,保证了整个滤波器具有良好的高频衰减特性。芯片测试结果表明:该芯片的截止频率为0.7kHz, 面积为0.39 mm2,功耗仅为1.53mW。