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半导体学报 2006
Monolithically Integrated Optoelectronic Receivers Implemented in 0.25μm MS/RF CMOSKeywords: 单片集成,光电集成电路,CMOS工艺,光电接收机 Abstract: 设计了一种单片集成的光电接收机芯片.在同一衬底上制作了基于同一工艺的光电二极管与接收机电路,以消除混合集成引入的寄生影响.这种单片集成接收机采用了先进的深亚微米MS/RF(混合信号/射频)CMOS工艺,利用这种新型工艺提供的新技术对原有光电二极管进行了改进,使其部分性能显著改善,并对整个光电集成芯片性能的提高有所帮助.
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